近日，北京电控所属北方华创、燕东公司分别荣获第四届“IC创新奖”产业链合作和成果产业化奖，其中北方华创已连续4年获奖，燕东公司8吋线首次参评即获大奖，表明了国内权威机构对北京电控集成电路产业成果的认可。北方华创集团自主研发的“300mm立式氧化炉”已迈入产业化阶段，设备已实现在3D NAND、Logic、Power等领域的广泛应用，在自动化、稳定性、技术指标等多方面媲美国际先进水平，打破了该领域长期依赖进口的局面。燕东公司“8吋线成套国产装备和材料应用示范”，完成了离子注入、刻蚀、清洗、金属溅射、扩散、薄膜等设备的工艺开发验证，解决了成套国产装备联调实现工艺贯通和批量生产的问题，促进了国产装备的产业化应用和推广。（北京电控）