近日，在SEMICON China 2021大会上，北京电控所属北方华创集团作为行业领军企业，携 ETCH、PVD、CVD、Furnace、Wet Clean、MFC 等高端半导体工艺装备及核心零部件解决方案亮相，为集成电路、先进封装、功率半导体等领域提供创新解决方案。其中，北方华创自主研发的CS330金属密封大流量气体质量流量控制器，突破了流量和材料技术交叉的瓶颈，各项指标均达到国外同类产品的技术水平，实现了国内本土金属密封大流量MFC（气体质量流量计）产品的阶跃性突破，可彻底改变我国相关产品市场长期依赖进口的局面。（北京电控）