近日，北京电控所属燕东公司通过其组建的Mini-line试验线，顺利产出第一片8吋晶圆，实现产品工艺通线，标志着燕东公司完全掌握了8吋晶圆的产品制造工艺。该产线是燕东公司为加快推进8英寸集成电路生产线项目建设的重要举措。（1）创造性提出“虚拟”试验线方案，在8吋线未建成的情况下，提前调试关键设备，攻关工艺环节难点，缩短项目建设周期。（2）统筹利用多方资源，由燕东公司、北方华创、中科院微电子所、沈阳拓荆四地提供设备支撑，形成工艺流片方案。（3）实现技术提升，完成了氧化膜刻蚀和多晶掺杂工艺的自主开发，为实现8吋线规模化生产打下了坚实基础。（北控电控）